3.市場規模
根據ASML、Canon、Nikon公告，2020年全球光刻機銷量413臺，同比增長15%，按季度依次是95臺、95臺、97臺、126臺，分別同比增長19%、25%、8%、12%，銷售額130多億美元均創歷史新高。
數據來源：ASML、Canon、Nikon公告、中商產業研究院整理
數據顯示，2020年EUV光刻機銷量31臺占比8%，銷售額55億美元同比增長76%，占光刻機市場規模的比例為41%；ArFimmersio銷量80臺占19%，銷售額估計54億美元同比下降7%，但占全球光刻機市場的40%。ArFdry、KrF、i-line光刻機銷量分別為32臺、130臺、140臺，分別同比增長3%、57%、25%，銷量占比依次是8%、31%、34%，銷售額占比依次是5%、11%、3%。
數據來源：ASML、Canon、Nikon公告、中商產業研究院整理
數據來源：ASML、Canon、Nikon公告、中商產業研究院整理
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