4.競爭格局
2019年全球刻蝕設備行業前三名分別為泛林半導體、東京電子、應用材料，CR3超過90%。國內企業中，中微公司的介質刻蝕機全球領先，已經進入臺積電最新工藝產線，2019年全球市占率約為1.1%。北方華創的硅刻蝕機和金屬刻蝕機在國內領先，2019年全球市占率約為0.8%。
數據來源：中商產業研究院整理
5.重點企業分析
資料來源：中商產業研究院整理
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