中商情報網訊：半導體專用設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備，屬于半導體行業產業鏈的支撐環節。在整個芯片制造和封測過程中，會經過上千道加工工序，細分又可以劃出百種不同的機臺，占比較大市場份額的主要有：光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機、測試機、分選機、探針臺等。
一、產業鏈
半導體設備產業鏈中，上游為信息交互系統及設備本體構成；中游為半導體設備，光刻設備、刻蝕設備、薄膜沉積設備為三大核心設備；下游為半導體產品，主要分為四大類，集成電路、分立器件、光電子器件和傳感器。
資料來源：中商產業研究院
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