二、上游分析
1.信息交互系統
半導體設備上游中包括精密運動控制系統、伺服驅動系統和測試分選設備本體;精密運動控制系統作為核心部件,向伺服驅動系統分配運動指令,從而帶動測試分選設備本體運轉,對芯片進行分選。具體如下圖所示:
資料來源:中商產業研究院整理
2.伺服系統
伺服系統又稱隨動系統,是用來精確地跟隨或復現某個過程的反饋控制系統。伺服系統使物體的位置、方位、狀態等輸出被控量能夠跟隨輸入目標的任意變化的自動控制系統。它的主要任務是按控制命令的要求、對功率進行放大、變換與調控等處理,使驅動裝置輸出的力矩、速度和位置控制非常靈活方便。中商產業研究院預測,到2021年,中國伺服系統市場規模將達到224億元。
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下圖為我國伺服系統主要企業匯總一覽表:
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