中商情報網訊:靶材主要由靶坯、背板或背管等部分構成,其中,靶坯是高速離子束流轟擊的目標材料,屬于濺射靶材的核心部分,在濺射鍍膜過程中,靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成薄膜材料。
一、靶材產業鏈
靶材產業鏈基本呈金字塔分布。產業鏈主要分金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜、終端應用四個環節。其中濺射鍍膜是整個產業鏈中技術要求最高的環節。濺射薄膜的品質對下游產品的質量具有重要影響。終端應用環節是整個產業鏈中規模最大的領域,包括半導體芯片、平板顯示器、太陽能電池等領域。
資料來源:中商產業研究院整理