精品報告
中商情報網訊：半導體設備是整個半導體產業的重要支撐產業，得益于半導體全行業的蓬勃發展和國家政策的支持，我國半導體設備市場規模增長迅速。目前，行業下游晶圓廠在關鍵工藝節點上成功取得量產，多家國內領先的半導體制造企業進入產能擴張期，都為國內半導體設備企業的技術能力提升和產業規模的擴大提供了源動力。
一、產業鏈
半導體設備產業鏈中，上游為零部件和系統軟件；中游為半導體設備，光刻機、刻蝕機、離子注入機、涂膠顯影設備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設備、質檢及電學檢測設備等；下游為半導體產品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。
資料來源：中商產業研究院整理
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