2.1　2020-2022年全球電子特氣發展現狀
2.1.1　市場發展規模
2.1.2　市場份額分布
2.1.3　企業競爭格局
2.1.4　企業營收情況
2.1.5　產業鏈條布局
2.1.6　應用領域分布
2.1.7　產品技術分析
2.2　2020-2022年美國電子特氣發展分析
2.2.1　市場相關政策
2.2.2　市場主體介紹
2.2.3　企業布局動態
2.2.4　市場發展困境
2.3　2020-2022年日本電子特氣發展分析
2.3.1　市場發展現狀
2.3.2　市場需求分析
2.3.3　市場主體介紹
2.3.4　企業營收情況
2.3.5　企業布局動態
2.3.6　出口管制施行
2.4　全球電子特氣企業發展路徑及經驗借鑒
2.4.1　設備制造+氣體服務齊頭并進
2.4.2　通過收購快速開拓國際市場
2.4.3　通過技術創新豐富產品結構

3.1　經濟環境
3.1.1　宏觀經濟概況
3.1.2　工業運行情況
3.1.3　固定資產投資
3.1.4　宏觀經濟展望
3.2　政策環境
3.2.1　行業主管部門
3.2.2　行業相關政策
3.2.3　行業支持政策
3.2.4　行業標準匯總
3.2.5　細分品類標準
3.2.6　區域政策動態
3.3　行業環境
3.3.1　工業氣體基本概述
3.3.2　工業氣體發展特點
3.3.3　工業氣體市場規模
3.3.4　工業氣體區域競爭
3.3.5　工業氣體競爭梯隊
3.3.6　工業氣體企業份額
3.3.7　工業氣體產品布局
3.3.8　工業氣體發展趨勢

4.1　中國電子特氣行業產業鏈分析
4.1.1　產業鏈條分析
4.1.2　上游供應情況
4.1.3　下游應用結構
4.1.4　產業鏈企業布局
4.2　2020-2022年中國電子特氣市場發展狀況
4.2.1　行業發展歷程
4.2.2　市場發展地位
4.2.3　市場發展態勢
4.2.4　市場發展規模
4.2.5　市場供應模式
4.2.6　波特五力模型
4.3　2020-2022年中國電子特氣企業競爭情況
4.3.1　企業競爭優勢
4.3.2　企業競爭格局
4.3.3　主要企業介紹
4.3.4　企業產品布局
4.3.5　企業營收情況
4.3.6　市場地位對比
4.4　中國電子特氣行業技術發展狀況分析
4.4.1　電子特氣行業技術發展需求
4.4.2　電子特氣行業技術發展意義
4.4.3　典型電子特氣企業研發成果
4.4.4　高純含氟電子氣體國產化成功
4.4.5　高純氮氣“卡脖子”技術取得突破
4.5　中國電子特氣行業發展問題及建議
4.5.1　行業起步較晚
4.5.2　行業競爭加劇
4.5.3　國際貿易摩擦
4.5.4　技術存在短板
4.5.5　行業發展建議

5.1　清洗、蝕刻工藝特氣
5.1.1　三氟化氮（NF3）
5.1.2　四氟化碳（CF4）
5.1.3　六氟化硫（SF6）
5.1.4　六氟乙烷（C2F6）
5.1.5　八氟丙烷（C3F8）
5.1.6　八氟環丁烷（C4F8）
5.2　氧化/沉積工藝特氣
5.2.1　六氟化鎢（WF6）
5.2.2　氧化亞氮（N2O）
5.2.3　氨氣（NH3）
5.2.4　硅烷（SiH4）
5.2.5　鍺烷（GeH4）
5.3　氧化/沉積、離子注入、外延工藝特氣
5.3.1　磷烷（PH3）
5.3.2　砷烷（AsH3）
5.3.3　乙硼烷（B2H6）
5.4　其他電子特氣
5.4.1　六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2　羰基硫（COS）
5.4.3　三氟化硼（BF3）
5.4.4　硒化氫（SeH2）

6.1　半導體行業
6.1.1　半導體行業發展綜述
6.1.2　半導體材料國產化
6.1.3　電子特氣制程介紹
6.1.4　電子特氣應用情況
6.1.5　電子特氣應用規模
6.1.6　電子特氣應用需求
6.1.7　電子特氣應用前景
6.2　LED行業
6.2.1　LED行業發展綜述
6.2.2　電子特氣應用情況
6.2.3　電子特氣應用前景
6.3　LCD行業
6.3.1　LCD行業發展綜述
6.3.2　電子特氣制程介紹
6.3.3　電子特氣應用現狀
6.3.4　電子特氣具體應用
6.3.5　電子特氣應用前景
6.4　太陽能電池行業
6.4.1　太陽能電池發展概述
6.4.2　電子特氣制程介紹
6.4.3　電子特氣應用情況
6.4.4　電子特氣應用規模

7.1　美國空氣化工產品
7.1.1　企業發展概況
7.1.2　企業業務介紹
7.1.3　企業產品布局
7.1.4　企業技術創新
7.1.5　2019年企業經營狀況分析
7.1.6　2020年企業經營狀況分析
7.1.7　2021年企業經營狀況分析
7.2　林德集團
7.2.1　企業發展歷程
7.2.2　企業業務介紹
7.2.3　企業產品布局
7.2.4　企業技術創新
7.2.5　2019年企業經營狀況分析
7.2.6　2020年企業經營狀況分析
7.2.7　2021年企業經營狀況分析
7.3　法國液空集團
7.3.1　企業發展歷程
7.3.2　企業業務介紹
7.3.3　企業產品布局
7.3.4　工業網路組織
7.3.5　企業發展戰略
7.3.6　2019年企業經營狀況分析
7.3.7　2020年企業經營狀況分析
7.3.8　2021年企業經營狀況分析
7.4　日本酸素公司
7.4.1　企業發展概況
7.4.2　企業功能擴展
7.4.3　企業基礎技術
7.4.4　企業銷售情況
7.4.5　2019年企業經營狀況分析
7.4.6　2020年企業經營狀況分析
7.4.7　2021年企業經營狀況分析
7.5　日本昭和電工株式會社
7.5.1　企業發展概況
7.5.2　企業業務介紹
7.5.3　企業產品布局
7.5.4　企業項目動態
7.5.5　2019年企業經營狀況分析
7.5.6　2020年企業經營狀況分析
7.5.7　2021年企業經營狀況分析
7.6　其他企業
7.6.1　太陽日酸
7.6.2　關東電化
7.6.3　艾迪科

8.1　廣東華特氣體股份有限公司
8.1.1　企業發展概況
8.1.2　企業發展歷程
8.1.3　企業經營現狀
8.1.4　特氣營收情況
8.1.5　企業業務模式
8.1.6　企業業務布局
8.1.7　企業技術發展
8.1.8　企業項目布局
8.2　蘇州金宏氣體股份有限公司
8.2.1　企業發展概況
8.2.2　企業發展歷程
8.2.3　企業工藝介紹
8.2.4　企業經營現狀
8.2.5　特氣營收情況
8.2.6　企業產能規模
8.2.7　企業產品布局
8.2.8　企業技術發展
8.3　江蘇雅克科技股份有限公司
8.3.1　企業發展概況
8.3.2　企業發展歷程
8.3.3　企業經營現狀
8.3.4　電子特氣營收
8.3.5　企業產品布局
8.3.6　細分產品介紹
8.3.7　企業項目動態
8.4　江蘇南大光電材料股份有限公司
8.4.1　企業發展概況
8.4.2　企業發展歷程
8.4.3　企業經營現狀
8.4.4　特氣營收情況
8.4.5　特氣布局分析
8.4.6　企業產品布局
8.4.7　企業研發投入
8.5　昊華化工科技集團股份有限公司
8.5.1　企業發展概況
8.5.2　企業發展歷程
8.5.3　企業經營現狀
8.5.4　特氣營收情況
8.5.5　企業產能規模
8.5.6　企業產品布局
8.5.7　企業研發投入
8.6　湖南凱美特氣體股份有限公司
8.6.1　企業發展概況
8.6.2　企業發展歷程
8.6.3　企業競爭優勢
8.6.4　企業經營現狀
8.6.5　氣體營收分布
8.6.6　產品銷售情況
8.6.7　特氣布局分析
8.6.8　企業產品布局
8.6.9　企業研發投入
8.6.10　企業項目動態
8.7　湖北和遠氣體股份有限公司
8.7.1　企業發展概況
8.7.2　企業經營現狀
8.7.3　電子特氣營收
8.7.4　電子特氣供應
8.7.5　企業研發投入
8.7.6　企業項目動態
8.8　其他企業
8.8.1　杭氧股份
8.8.2　巨化股份
8.8.3　正帆科技
8.8.4　派瑞特氣
8.8.5　博純材料
8.8.6　綠菱公司
8.8.7　硅烷科技
8.8.8　同輝氣體
8.8.9　太和氣體

9.1　2020-2022年中國電子特氣行業投融資狀況
9.1.1　行業投資現狀
9.1.2　企業融資動態
9.1.3　企業戰略合作
9.1.4　項目投資布局
9.1.5　行業投資機遇
9.2　中國電子特氣行業投資進入壁壘
9.2.1　技術壁壘
9.2.2　客戶壁壘
9.2.3　服務壁壘
9.2.4　資金壁壘
9.2.5　資質壁壘
9.3　中國電子特氣行業投資風險及策略
9.3.1　行業投資風險
9.3.2　行業投資策略
9.3.3　項目投資建議

10.1　雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目
10.1.1　項目基本情況
10.1.2　項目投資價值
10.1.3　項目投資優勢
10.1.4　項目實施主體
10.1.5　項目建設周期
10.1.6　項目投資概算
10.1.7　項目經濟效益
10.2　南大光電三氟化氮生產裝置項目
10.2.1　項目基本情況
10.2.2　項目投資內容
10.2.3　項目投資價值
10.2.4　項目建設周期
10.2.5　項目投資概算
10.2.6　產能消化空間
10.2.7　項目經濟效益
10.2.8　項目備案進展
10.3　正帆科技氣體擴產項目
10.3.1　項目基本情況
10.3.2　項目投資可行性
10.3.3　項目建設主體
10.3.4　項目建設周期
10.3.5　項目投資概算
10.3.6　項目環保措施
10.4　金宏氣體集成電路用高純氣體項目
10.4.1　項目基本情況
10.4.2　項目投資背景
10.4.3　項目建設方案
10.4.4　主要設備配置
10.4.5　項目物料及能源供應
10.4.6　項目環境影響及設施
10.4.7　項目組織方式和實施進展
10.4.8　項目投資概算及財務評價

11.1　中國電子特氣行業未來發展趨勢
11.1.1　行業發展機遇
11.1.2　行業發展趨勢
11.1.3　國產替代趨勢
11.2　2023-2028年中國電子特氣行業預測分析
11.2.1　2023-2028年中國電子特氣行業影響因素分析
11.2.2　2023-2028年中國電子特氣市場規模預測

圖表　不同線寬下對應特氣所含顆粒雜質要求
圖表　三種分離方法比較
圖表　化學氣相沉積工藝中電子氣體的使用流程
圖表　光刻工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕機中輝光放電原理
圖表　離子注入工藝流程
圖表　離子注入機之磁分析器結構簡圖
圖表　離子注入機設備結構簡圖
圖表　電子氣體純度要求
圖表　氣體純化工藝流程圖
圖表　氣體合成工藝流程圖（以高純氫為例）
圖表　空氣分離工藝流程圖資
圖表　氣體充裝工藝流程圖
圖表　氣體混配工藝流程圖
圖表　氣體檢驗工藝流程圖
圖表　氣瓶處理工藝流程圖
圖表　全球電子氣體市場規模
圖表　2020全球電子氣體細分市場格局
圖表　2019年全球電子特氣市場格局
圖表　全球電子特種氣體知名企業