2.电子气体
电子特气是指在半导体芯片制备过程中需要使用到的各种特种气体，按照气体的化学成分可以分为通用气体和特种气体。其中电子特种气体又可划分为掺杂气、外延气、离子注入用气、LED用气、蚀刻用气、化学汽相沉淀用气、载运和稀释气体等几大类，种类繁多，在半导体工业中应用的有110余种电子气体，常用的有20-30种。
资料来源：中商产业研究院整理
3.制造设备
数据显示，各晶圆制造设备中以光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备的产值最大，生产难度也最高。光刻机占比达30%，CVD设备占比达20%，刻蚀设备及PVD设备占比均达12%。
数据来源：中商产业研究院整理
下图为全球晶圆制造设备相关企业汇总一览表：
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