中商情报网讯：半导体专用设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的支撑环节。在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序，细分又可以划出百种不同的机台，占比较大市场份额的主要有：光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、测试机、分选机、探针台等。
一、产业链
半导体设备产业链中，上游为信息交互系统及设备本体构成；中游为半导体设备，光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备为三大核心设备；下游为半导体产品，主要分为四大类，集成电路、分立器件、光电子器件和传感器。
资料来源：中商产业研究院
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