二、上游分析
1.信息交互系统
半导体设备上游中包括精密运动控制系统、伺服驱动系统和测试分选设备本体；精密运动控制系统作为核心部件，向伺服驱动系统分配运动指令，从而带动测试分选设备本体运转，对芯片进行分选。具体如下图所示：
资料来源：中商产业研究院整理
2.伺服系统
伺服系统又称随动系统，是用来精确地跟随或复现某个过程的反馈控制系统。伺服系统使物体的位置、方位、状态等输出被控量能够跟随输入目标的任意变化的自动控制系统。它的主要任务是按控制命令的要求、对功率进行放大、变换与调控等处理，使驱动装置输出的力矩、速度和位置控制非常灵活方便。中商产业研究院预测，到2021年，中国伺服系统市场规模将达到224亿元。
数据来源：中商产业研究院整理
下图为我国伺服系统主要企业汇总一览表：
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