（4）光刻机重点企业分析
全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家占据。如今虽然ASML正逐渐解除对华产品的禁售，但EUV这类的顶尖光刻机由于产能有限。中国光刻机主要生产商有上海微电子装备公司、北京华卓精科科技股份有限公司等。
资料来源：中商产业研究院整理
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