4.薄膜沉积设备
半导体薄膜沉积设备，是指将原子吸附并在表面扩散及在适当的位置下聚结，以渐渐形成薄膜的设备，是晶圆制造的核心步骤之一。
（1）薄膜沉积设备市场规模
数据显示，2017-2019年全球半导体薄膜沉积设备市场规模分别为125亿美元、145亿美元和155亿美元，2020年扩大至约172亿美元，年复合增长率为11.2%。中商产业研究院预计到2022年全球薄膜沉积设备市场规模将达202亿美元。
数据来源：MaximizeMarketResearch、中商产业研究院整理
（2）薄膜沉积设备市场占比
薄膜沉积工艺的不断发展，形成了较为固定的工艺流程，同时也根据不同的应用演化出了PECVD、溅射PVD、ALD、LPCVD等不同的设备用于晶圆制造的不同工艺。其中，PECVD是薄膜设备中占比最高的设备类型，占整体薄膜沉积设备市场的33%；ALD设备目前占据薄膜沉积设备市场的11%；SACVD是新兴的设备类型，属于其他薄膜沉积设备类目下的产品，占比较小。在整个薄膜沉积设备市场，属于PVD的溅射PVD和电镀ECD合计占有整体市场的23%。
数据来源：Gartner、中商产业研究院整理
如发现本站文章存在版权问题，烦请联系editor@askci.com我们将及时沟通与处理。
2021年12月油料市场供需及价格走势预测分析：国内外油籽价格均上涨，油脂价格涨跌互现
2021年12月大豆市场供需及价格走势预测分析：国内大豆价格高位上涨，国际大豆价格小幅回升
2021年12月玉米市场供需及价格走势预测分析：国内价格普遍反弹，国际价格有所上涨
2021年1-11月中国冰箱出口数据统计分析
2021年1-11月中国空调出口数据统计分析
2021年11月全国饮料产量数据统计分析
2021年1-11月中国电扇出口数据统计分析
2022年中国多晶硅市场前景及投资研究预测报告（简版）
2021年中国汽车流通行业二手车经销商百强企业排行榜（附榜单）
2021年1-11月中国平板电脑出口数据统计分析
