4.靶材
靶材主要由靶坯、背板或背管等部分构成，其中，靶坯是高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分，在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成薄膜材料，溅射镀膜是靶材整个产业链中技术要求最高的环节。
资料来源：中商产业研究院整理
（1）靶材市场规模
按使用的原材料材质不同，溅射靶材可分为金属/非金属单质靶材、合金靶材、化合物靶材等。2016-2020年我国溅射靶材市场规模将从177亿元升至337亿元，年均复合增长率为17.46%，中商产业研究院预计2022年中国溅射靶材市场规模将达396亿元。
数据来源：江丰电子、中商产业研究院整理
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