中商情报网讯：半导体设备是实现半导体制造工艺的媒介工具，在各个环节均发挥重要作用。近年来，半导体行业国产化进程进一步提速，且半导体设备环节业绩比整体行业更具弹性。半导体设备国产化迎黄金浪潮，国产半导体设备正迎来更充沛的验证试用、技术合作、进口替代机遇。
一、半导体设备定义及产业链
半导体专用设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的支撑环节。在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序，细分又可以划分出百种不同的机台，占比较大市场份额的主要有：光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、测试机、分选机、探针台等。
半导体设备产业链中，上游为零部件和系统软件；中游为半导体设备，光刻机、刻蚀机、离子注入机、涂胶显影设备、氧化炉、CMP/CVD/PVD设备、质检及电学检测设备等；下游为半导体产品，主要包括分立器件、光电子器件、传感器和集成电路。
资料来源：中商产业研究院整理
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