3.市场竞争格局
目前，光刻机市场竞争格局明确，主要由阿斯麦、日本尼康和佳能三家把持，其中阿斯麦更是全球绝对龙头，市占率83.3%，几乎垄断了高端光刻机（EUV）市场。日本尼康和佳能产品主要为中低端机型。国产光刻机领域中，上海微电子一枝独秀。
国产光刻机市场前景广阔，同时，为了避免在芯片产能爬坡时被外界的设备供应给“卡脖子”，国产光刻机正在逐步突破。近年来，我国科技取得了巨大突破，五年内有望解决高端芯片短缺问题。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
4.三大龙头企业分析
2021年，前三大光刻机企业阿斯麦、尼康、佳能的集成电路用光刻机出货达478台，较2020年的413台增加65台，同比增长15%。2021年阿斯麦光刻机营收约854亿元，阿斯麦共出货309台光刻机，；尼康光刻机业务营收约112亿元，集成电路用光刻机出货29台，较2020年减少4台；佳能光刻机营收约为110亿元，佳能的半导体用光刻机是i-line、KrF两类机台出货，光刻机出货量达140台，较2020年出货增加18台。
数据来源：中商产业研究院整理
下表为阿斯麦光刻机主要供应商汇总一览表：
资料来源：中商产业研究院整理
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