3.特种气体
随着国家政策的推动、高新技术的发展，以及下游需求的不断增长，特种气体市场规模持续快速增长。数据显示，中国特种气体市场规模由2017年的175亿元增长至2021年的342亿元，复合年均增长率达18.24%。中商产业研究院预测，2022年我国特种气体市场规模将达409亿元。
数据来源：中商产业研究院整理
中国特种气体市场中，国外公司仍为主流，市场几乎被发达国家的龙头企业垄断，主要龙头有美国空气华工、美国普莱克斯、法国液化空气、日本太阳日酸及德国林德。国产企业产品较为单一，提纯技术不够成熟，在市场竞争度较低。2021年CR5占比约7.7%，前五名包括华特气体、南大光电、金宏气体、雅克科技、和远气体，2021年市场份额占比分别为2.3%、2.1%、1.9%、1.1%和0.2%。第一梯队的国产企业特气业务收入已具备规模性，在细分领域产品优势明显，但和国外龙头企业相比还有差距。
数据来源：中商产业研究院整理
4.光刻机
全球半导体设备行业复苏，受益于下游晶圆巨大需求、服务器云计算和5G基础建设的发展，带动相关芯片的需求，2020年光刻机销售额与销量增速稳定提升。2021年全球集成电路、面板、LED用光刻机出货约650台，较2020年增加70台。其中集成电路制造用光刻机出货约500台；面板、LED用光刻机出货约150台。2021年全球光刻机销量为450台，随着下游市场需求持续升高，预计2022全球市场仍将持续增长，销量将达510台。
数据来源：中商产业研究院整理
上海微电子深耕光刻机产品研发，承担多项专项科研任务。目前公司光刻机产品主要包括IC前道光刻机、IC后道封装光刻机、面板前道光刻机、面板后道封装光刻机。作为国内光刻机设备领域的领航者，上海微电子承担着国产光刻机设备的希望，若能实现光刻机设备的国产化，中国大力发展的半导体产业必将迈上一个新台阶。
资料来源：中商产业研究院整理
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