PART1电子特气行业概况
电子特气指的是工业气体中附加值比较高的特殊用途气体。与传统工业气体在纯度和用途上有所区分。特种气体的生产过程中涉及合成、纯化、混合配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,流程较为复杂。
电子特气种类众多,广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等环节,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”,决定了器件的最终良率和可靠性。
PART2电子特气行业发展环境
电子特气在生产过程中涉及合成、纯化、混合配置、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,尤其是半导体客户对气体纯度、混合气体配比精度以及气瓶处理技术等具有高要求。通过不断的经验积累和技术进步,业内领先企业已在部分产品上实现突破,达到国际标准。