精品报告
中商情报网讯：刻蚀机是重要性仅次于光刻机的半导体设备。当前，我国刻蚀机行业相对来说仍处于较为初级的发展阶段，存在较大的发展潜力。
一、产业链
刻蚀机产业链上游为四大组成部分，包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统及真空系统；中游为刻蚀机的制造，分为湿法刻蚀及干法刻蚀两种；下游应用包括半导体器件、太阳能电池及其他微机械制造等。
图片来源：中商产业研究院
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