3.电子特种气体
电子特种气体是半导体制造的关键原材料，主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。近年来，中国电子特种气体市场规模持续增长。中商产业研究院发布的《2023-2028年中国电子特气专题研究及发展前景预测评估报告》显示，2022年电子特种气体市场规模220.8亿元。我国电子特气市场规模的增长率明显高于全球电子特气增长率，未来有较大发展空间。预计2023年中国电子特气市场规模逼近250亿元，2024年市场规模将达262.5亿元。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
4.光刻机
（1）光刻机市场规模
近年来，在消费电子需求相对低迷的情况下，电动汽车、风光储、人工智能等新需求成为半导体产业成长的新动能，全球光刻机市场规模平稳增长。根据SEMI公布的数据，2022年全球半导体设备市场规模为1076.5亿美元，其中光刻机市场占比约为24%，规模达到约258.4亿美元。中商产业研究院分析师预测，2023年全球光刻机市场规模将增至271.3亿美元，2024年增至295.7亿美元。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
（2）光刻机市场竞争格局
光刻机市场呈现寡头垄断格局，前三供应商（荷兰阿斯麦、日本佳能、日本尼康）占据绝大多数市场份额，其中，ASML市场份额占比82.1%，Canon市场份额占比10.2%，Nikon市场份额占比7.7%。国内企业中，上海微电子是目前中国第一家也是唯一一家光刻机巨头，具备90nm及以下的芯片制造能力。根据公开数据，上海微电子光刻机出货量此前已占到国内市场份额超过80%。
数据来源：中商产业研究院整理
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