中商情报网讯：电子特气有着芯片加工之“粮食”的称号，主要用于集成电路、显示面板、LED、光伏电池领域，贯穿晶圆加工的制备外延片、清洗、沉积和氧化成膜、光刻、刻蚀、掺杂各环节。当前，电子特气国产替代空间广阔，国内电子特气龙头或将受益于下游需求回暖和国产化率的提升。
一、电子特气定义
电子特气指的是工业气体中附加值比较高的特殊用途气体。与传统工业气体在纯度和用途上有所区分。特种气体的生产过程中涉及合成、纯化、混合配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术，流程较为复杂。
电子特种气体是指应用于电子行业的气体，其质量直接影响电子器件的成品率和性能。目前半导体行业各个环节使用的特种气体有114种，常用的有44种。主要包含有三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、氨气等，一般采用液态与瓶装气体生产模式，广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等环节。电子特气主要产品类别如下：
资料来源：中商产业研究院整理
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