中商情报网讯：光刻机是半导体制造过程中的关键设备。随着半导体产业在电动汽车、风光储、人工智能等新需求的推动下持续发展，光刻机前景广阔。
一、光刻机的定义及分类
光刻机，又称光刻对准曝光机、掩模对准曝光机、曝光系统或光刻系统等，是光刻工艺乃至整个芯片制造过程中的核心设备。光刻机可以根据不同的分类标准划分为多种类型，以下是一些常见的分类方式：
资料来源：中商产业研究院整理
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