四、光刻机行业重点企业
1、上海微电子
上海微电子成立于2002年，是中国领先的光刻设备制造商。上海微电子的光刻机产品涵盖了从几微米到28纳米的多种技术节点，广泛应用于集成电路、分立器件、LED等半导体领域的制造。
资料来源：中商产业研究院整理
上海微电子光刻机具备高精度、高效率、高速度、低能耗等技术特点。
资料来源：中商产业研究院整理
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