2、芯碁微装
芯碁微装从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。芯碁微装在直写光刻设备领域推出了多个产品系列，如MAS系列、RTR系列、NEX系列、FAST系列、DILINE系列等，不断进行性能升级与下游应用的拓展。芯碁微装在直写光刻设备领域拥有关键核心技术，其直写光刻设备可应用在IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件、IC掩膜版制造、先进封装、显示光刻等环节。
2023年芯碁微装营业收入达到8.29亿元，同比增长27.07%，归母净利润高达1.79亿元，同比增长31.28%。
数据来源：中商产业研究院整理
PCB设备领域，芯碁微装在2023年实现5.9亿元营收，占比总营收71.16%，逆势增长11.94%，毛利率为35.38%。泛半导体业务方面，芯碁微装同样表现出色，营收达到1.88亿元，占比总营收的22.71%，同比大幅增长96.91%，毛利率则为57.62%。
数据来源：中商产业研究院整理
3、华卓精科
华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务。公司在光刻机双工件台技术方面取得了重要突破，并成功研制出国产光刻机双工作台系统，打破了国外在这一领域的技术垄断。
华卓精科的光刻机双工件台是其核心产品之一，具有高速运动、高精度定位和高稳定性等特点。公司推出了DWS和DWSi两种系列的双工件台，分别适用于干式步进式扫描光刻机和浸没式光刻机。
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