中商情报网讯：电子特气是特种气体的一个重要分支，广泛应用于超大规模集成电路（IC）、平面显示器件（如LCD、LED、OLED）、太阳能电池等电子工业生产中不可或缺的原材料。
一、产业链
中国电子特气上游为原料及设备，原料包括空气、工业废气、液氧、液氮等，设备包括气体分离设备、压力容器设备、气体纯化设备、气体压缩设备等；中游为不同类别电子特气，包括掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、发光二极管用气、刻蚀用气体、CVD用气等；下游应用于集成电路、显示面板、太阳能电池等领域。
图片来源：中商产业研究院
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