2011-2015年全球及中国MOCVD产业深度调研报告

【导读】

【报告描述】：

本报告是目前LED外延片用MOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition金属有机化合物化学气相沉积）领域最全面和专业的深度研究报告，报告首先介绍了MOCVD的背景知识，包括MOCVD相关概念 用途及生产工艺和产品规格 技术参数；接着统计了全球19家MOCVD企业MOCVD产能 产量 成本 价格 利润 产值 利润率等详细的相关参数，同时统计了这些企业的MOCVD产品 客户 原料 产地及企业背景信息，然后对这些企业相关数据进行汇总统计和总结分析，得到全球及中国MOCVD企业产能产量市场份额，不同地区 不同尺寸（2 4 6 8 英寸）MOCVD产量市场份额，全球及中国MOCVD需求量及供需关系，MOCVD 2009-2015年 产能 产量 售价 成本 利润 产值 利润率等，同时对MOCVD市场供需变化及企业发展策略进行了分析阐述，并对MOCVD行业发展走势进行全面分析和介绍，最后就新投资的年产50台36 x 2"MOCVD项目采用案例分析的模式进行了详细分析和研究，同时对整个MOCVD行业的现状及发展前景进行全面深度的总结。总体而言，这份是专门针对全球及中国MOCVD产业的深度报告，研究中心采用客观公正的方式对MOCVD产业的发展走势进行了深度分析阐述，方便客户进行MOCVD行业发展规划，投资决策，本项目在运作过程中得到了众多MOCVD产业链各个环节工程技术人员和相关企业专家的支持和帮助，在此一并表示谢意。

第一章 MOCVD产业概述 1
1.1 MOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition）定义 1
1.2 MOCVD（金属有机化合物化学气相淀积）分类及应用 1
1.3 MOCVD产业链结构 3

第二章 MOCVD原理及工艺 7
2.1 MOCVD工作原理 7
2.2.2 MOCVD工艺 10
2.2.1 MOCVD设备结构 10
2.2.2 MOCVD设备MO源及气源供给系统设计及分析 11
2.2.3 MOCVD设备反应室及加热系统设计及分析 11
2.2.4 MOCVD设备气体源输送系统设计及分析 14
2.2.5 MOCVD设备尾气处理系统设计及分析 15
2.2.6 MOCVD设备PLC控制系统设计及分析 16
2.2.7 MOCVD设备安全保护及报警系统设计及分析 16

第三章 MOCVD产、供、销、需市场现状和预测分析 17
3.1 MOCVD生产、供应量综述 17
3.2 全球及中国MOCVD产能、产量分析 23
3.3 全球各地区MOCVD产量市场份额 27
3.4 全球及中国各种规格MOCVD产量市场份额 30
3.5 全球及中国MOCVD成本、价格、产值、利润率 35
3.6 全球及中国MOCVD供需分析 40
3.7 全球各国MOCVD持有量分析 45
3.8 全球及中国LED外延片TOP50及MOCVD持有量情况 48

第四章 全球及中国MOCVD核心企业 67
4.1 AIXTRON-爱思强 （Germany） 67
4.2 Veeco-维易科 （USA.） 70
4.3 Taiyo Nippon Sanso-大阳日酸 （Japan） 73
4.4 APPLIED MATERIALS-应用材料 （USA.） 76
4.5 ASM International N.V.-爱死姆 （Franch.） 78
4.6 JUSUNG ENGINEERING-周星工程 （South Korea.） 81
4.7 Nichia Corporation-日亚光电 （Japan） 83
4.8 Toyoda Gosei-丰田合成 （Japan） 85
4.9 Nissin electric-日新电机 (Japan) 87
4.10 TanLong Optoelectric-天龙光电 （中国） 89
4.11 Real Faith-昭信半导体 （中国.） 91
4.12 Eemperor-思捷爱普（中国.） 93
4.13 Rain•Lanbao-蓝宝光电 （中国） 95
4.14 NMC-北方微电子（中国） 98
4.15 JASON ELECTRIC-杰生电气（中国） 100
4.16 LG Innotek-乐金伊诺特 （South Korea） 102
4.17 Samsung LED-三星LED （South Korea） 104
4.18 MARKETECH-帆宣系统 （Taiwan.） 106
4.19 TOP TOWER-東城科技 （Taiwan.） 108
4.20 全球及中国其他MOCVD设备项目企业 110

第五章 MOCVD设备上游企业分析 124
5.1 全球及中国MOCVD设备上游产业市场现状概述 124
5.2 全球及中国MOCVD设备研究机构分析 124
5.3 全球及中国MOCVD设备生产线所需设备供应企业分析 127
5.4 全球及中国MOCVD设备所需原材料供应企业分析 134

第六章 50台2"x36、25台4"x10/年MOCVD项目投资可行性分析（中国） 145
6.1 50台2"x36、25台4"x10/年MOCVD项目概述 145
6.2 50台2"x36、25台4"x10/年MOCVD项目可行性分析 151

第七章 MOCVD产业研究总结 156

图表目录

图 MOCVD实物图 1
表 MOCVD分类及应用领域一览表 1
图 MOCVD产业链结构图 3
图 MOCVD工作原理图 7
表 MOCVD与LPE HVPE MBE CBE等技术参数对比分析 8
图 MOCVD设备结构图 10
图 MOCVD气源及MO源供给系统 11
图 MOCVD设备反应室（AIXTRON-AIX2008 HT4行星式反应室） 12
图 全球主流MOCVD设备反应腔种类及特点 12
图 MOVCD加热系统（AIX-紫铜高频感应加热器 VEECO-电阻片加热器 Swan-电阻丝加热器） 13
表 红外辐射加热器与高频感应加热器对比分析 13
图 MOCVD气体输送系统（AIXTRON-AIX2008HT） 14
图 MOCVD尾气处理系统（AIXTRON- CRIUS I） 15
图 工作人员利用PLC控制系统操作MOCVD设备（VEECO-E465i） 16
图 MOCVD气体安全保护及报警系统（VEECO-E475） 16
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产能及总产能（台）一览表 17
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产能市场份额一览表 18
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产量及总产量（台）一览表 19
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产量市场份额一览表 19
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产能及总产能（万m2）一览表 20
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产能市场份额一览表 21
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产量及总产量（万m2）一览表 22
表 2009-2015年全球19个企业MOCVD产量市场份额一览表 22
表 2009-2015年全球MOCVD产能、产量（台）及产能利用率 23
图 2009-2015年全球MOCVD产能、产量（台）及增长率 24
表 2009-2015年中国MOCVD产能、产量（台）及产能利用率 24
图 2009-2015年中国MOCVD设备总产能、产量（台）及增长率 25
表 2009-2015年全球MOCVD设备折合面积总产能、产量（万m2）及产能利用率 25
图 2009-2015年全球MOCVD设备折合面积总产能、产量（万m2）及增长率 26
表 2009-2015年中国MOCVD设备折合面积总产能、产量（万m2）及产能利用率 26
图 2009-2015年中国MOCVD设备折合面积总产能、产量（万m2）及增长率 27
表 2009-2015年中国 日本 台湾 韩国 美国 德国等地区生产MOCVD设备产量（台）及市场占有率 27
图 2009-2015年全球各地区生产MOCVD设备产量（台）及市场占有率 28
表 2009-2015年中国 日本 台湾 韩国 美国 德国等地区生产MOCVD设备产量（万m2）及市场占有率 28
图 2009-2015年全球各地区生产MOCVD设备产量（万m2）及市场占有率 29
表 2009-2015年全球2 4 6 8 英寸MOCVD设备产量（台）及市场占有率 30
表 2009-2015年全球不同效率MOCVD设备产量（台）及市场占有率 31
表 2009-2015年中国2 4 6 8英寸MOCVD设备产量（台）及市场占有率 31
表 2009-2015年中国不同效率MOCVD设备产量（台）及市场占有率 32
表 2009-2015年全球不同生产尺寸MOCVD设备产量（万m2）及市场占有率 32
表 2009-2015年全球不同效率MOCVD设备产量（万m2）及市场占有率 33
表 2009-2015年中国不同尺寸MOCVD设备产量（万m2）及市场占有率 33
表 2009-2015年中国不同效率MOCVD设备产量（万m2）及市场占有率 34
表 2009-2015年全球及中国MOCVD设备均价（万美元/台）一览表 35
图 2009-2015年全球MOCVD设备均价（万美元/台）及变化趋势 35
图 2009-2015年中国MOCVD设备均价（万美元/台）及变化趋势 36
表 2009-2015年全球MOCVD设备产量（台）价格 成本 利润（万美元/台）产值（亿美元）利润率信息一览表 36
表 2009-2015年中国MOCVD设备产量（台）价格 成本 利润（万美元/台）产值（亿美元）利润率信息一览表 36
表 2009-2015年全球及中国MOCVD设备的均价（美元/m2）一览表 37
图 2009-2015年全球MOCVD设备均价（美元/m2）及变化趋势 37
图 2009-2015年中国MOCVD设备均价（美元/m2）及变化趋势 38
表 2009-2015年全球MOCVD设备折合面积产量（m2）价格 成本 利润（美元/m2）产值（亿美元）利润率信息一览表 38
表 2009-2015年中国MOCVD设备折合面积产量（m2）价格 成本 利润（美元/m2）产值（亿美元）利润率信息一览表 38
图 2009-2015年全球生产MOCVD设备销售产值（亿美元）及增长率 39
图 2009-2015年中国生产MOCVD设备销售产值（亿美元）及增长率 39
表 2009-2015年全球MOCVD设备供货量、需求量、供需缺口（台）一览表 40
图 2009-2015年全球市场MOCVD设备供货量、需求量、供需缺口（台） 40
表 2009-2015年中国市场MOCVD设备供货量、需求量、供需缺口（台） 41
图 2009-2015年中国市场MOCVD设备折合面积供货量、需求量、供需缺口（万m2） 41
表 2009-2015年中国MOCVD设备需求市场产值（亿美元）及在全球份额比重 42
表 2009-2015年全球MOCVD设备折合面积供货量、需求量、供需缺口（万m2）一览表 42
图 2009-2015年全球市场MOCVD设备折合面积供货量、需求量、供需缺口（万m2） 43
表 2009-2015年中国市场MOCVD设备供货量、需求量、供需缺口（万m2）一览表 43
图 2009-2015年中国市场MOCVD设备折合面积供货量、需求量、供需缺口（万m2） 44
表 2009-2015年中国MOCVD设备需求市场产值（亿美元）及在全球份额比重（万m2） 44
图 2009-2015年中国MOCVD设备需求市场产值（亿美元）及在全球份额比重 45
表 2009-2015年全球各个国家MOCVD设备持有台数及市场比重一览表 45
图 2009-2015年全球各个国家MOCVD设备持有台数及市场比重一览表 46
表 2009-2015年全球各个国家MOCVD设备面积持有量及市场比重一览表 46
图 2009-2015年全球各个国家MOCVD设备面积持有量及市场比重一览表 47
表 2011-2015年日本Nichia Corporation. MOCVD设备需求及采购情况分析 48
表 2011-2015年韩国SAMSUNG LED. MOCVD设备需求及采购情况分析 48
表 2011-2015年台湾EPISTAR Corporation. MOCVD设备需求及采购情况分析 49
表 2011-2015年中国三安光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 49
表 2011-2015年美国Cree, Inc. MOCVD设备需求及采购情况分析 49
表 2011-2015年德国OSRAM GmbH. MOCVD设备需求及采购情况分析 50
表 2011-2015年荷兰PHILIPS Lumileds. MOCVD设备需求及采购情况分析 50
表 2011-2015年中国士兰微电子. MOCVD设备需求及采购情况分析 50
表 2011-2015年韩国LG Innotek. MOCVD设备需求及采购情况分析 51
表 2011-2015年日本Toyoda Gosei. MOCVD设备需求及采购情况分析 51
表 2011-2015年中国浪潮华光. MOCVD设备需求及采购情况分析 52
表 2011-2015年台湾泰谷光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 52
表 2011-2015年美国Semileds. MOCVD设备需求及采购情况分析 52
表 2011-2015年日本Showa Denko K.K. MOCVD设备需求及采购情况分析 53
表 2011-2015年美国Bridgelux. MOCVD设备需求及采购情况分析 53
表 2011-2015年韩国SSC. MOCVD设备需求及采购情况分析 53
表 2011-2015年中国创维集团. MOCVD设备需求及采购情况分析 54
表 2011-2015年中国同方光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 54
表 2011-2015年中国彩虹集团. MOCVD设备需求及采购情况分析 55
表 2011-2015年中国乾照光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 55
表 2011-2015年中国江门真明丽. MOCVD设备需求及采购情况分析 55
表 2011-2015年台湾廣鎵光電. MOCVD设备需求及采购情况分析 56
表 2011-2015年中国华灿光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 56
表 2011-2015年中国德豪润达. MOCVD设备需求及采购情况分析 56
表 2011-2015年日本Sharp Electronics. MOCVD设备需求及采购情况分析 57
表 2011-2015年台湾璨圓光電. MOCVD设备需求及采购情况分析 57
表 2011-2015年中国方大集团. MOCVD设备需求及采购情况分析 58
表 2011-2015年中国蓝宝光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 58
表 2011-2015年美国Hewlett Packard. MOCVD设备需求及采购情况分析 58
表 2011-2015年中国联创光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 59
表 2011-2015年日本Genelite. MOCVD设备需求及采购情况分析 59
表 2011-2015年中国迪源光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 59
表 2011-2015年台湾奇力光電. MOCVD设备需求及采购情况分析 60
表 2011-2015年中国晶科电子. MOCVD设备需求及采购情况分析 60
表 2011-2015年中国同辉电子. MOCVD设备需求及采购情况分析 61
表 2011-2015年美国Lumination. MOCVD设备需求及采购情况分析 61
表 2011-2015年台湾友达光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 61
表 2011-2015年中国国星光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 62
表 2011-2015年中国德力西集团. MOCVD设备需求及采购情况分析 62
表 2011-2015年日本Toshiba. MOCVD设备需求及采购情况分析 62
表 2011-2015年美国Agilent Inc. MOCVD设备需求及采购情况分析 63
表 2011-2015年中国晶能光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 63
表 2011-2015年中国奥伦德. MOCVD设备需求及采购情况分析 64
表 2011-2015年台湾鼎元光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 64
表 2011-2015年中国扬州中科. MOCVD设备需求及采购情况分析 64
表 2011-2015年台湾新世纪光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 65
表 2011-2015年中国协鑫光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 65
表 2011-2015年中国华延芯光. MOCVD设备需求及采购情况分析 66
表 2011-2015年中国亚威朗. MOCVD设备需求及采购情况分析 66
表 2011-2015年中国睿能光电. MOCVD设备需求及采购情况分析 66
表 AIXTRON.公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 68
表 2009-2015年AIXTRON. MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台）产值（亿美元）及利润率一览表 69
图 2009-2015年AIXTRON. MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 70
表 Veeco.信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 71
表 2009-2015年Veeco.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 72
图 2009-2015年Veeco.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 73
表Taiyo Nippon Sanso. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 73
表 2009-2015年Taiyo Nippon Sanso. MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 75
图 2009-2015年Taiyo Nippon Sanso. MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 75
表 APPLIED MATERIALS.信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 76
表 2009-2015年APPLIED MATERIALS.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 77
图 2009-2015年APPLIED MATERIALS.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 78
表 ASM International N.V.信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 78
表 2009-2015年ASM International N.V. MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 79
图 2009-2015年ASM International N.V. MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 80
表 JUSUNG ENGINEERING. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 81
表 2009-2015年JUSUNG ENGINEERING.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 82
图 2009-2015年JUSUNG ENGINEERING.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 82
表 Nichia. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 83
表 2009-2015年Nichia.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 84
图 2009-2015年Nichia.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 85
表Toyoda Gosei. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 85
表 2009-2015年Toyoda Gosei.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 86
图 2009-2015年Toyoda Gosei.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 87
表 Nissin electric. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 87
表 2009-2015年Nissin electric.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 88
图 2009-2015年Nissin electric.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 89
表 天龙光电. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 89
表 2009-2015年天龙光电.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 90
图 2009-2015年天龙光电.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 91
表 昭信半导体. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 92
表 2009-2015年昭信半导体.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 92
图 2009-2015年昭信半导体.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 93
表 思捷爱普. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 94
表 2009-2015年思捷爱普.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 94
图 2009-2015年思捷爱普.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 95
表 蓝宝光电. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 96
表 2009-2015年蓝宝光电.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 97
图 2009-2015年蓝宝光电.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 97
表 北方微电子. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 98
表 2009-2015年北方微电子.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 99
图 2009-2015年北方微电子.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 99
表 杰生电气. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 100
表 2009-2015年杰生电气.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 101
图 2009-2015年杰生电气.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 102
表 LG Innotek. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 102
表 2009-2015年LG Innotek.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 103
图 2009-2015年LG Innotek.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 104
表 Samsung LED. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 105
表 2009-2015年Samsung LED.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 106
图 2009-2015年Samsung LED.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 106
表 MARKETECH. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 107
表 2009-2015年MARKETECH.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 107
图 2009-2015年MARKETECH.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 108
表 TOP TOWER. 信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 108
表 2009-2015年TOP TOWER.MOCVD设备产能 产量（台） 售价、成本、利润（万美元/台） 产值（亿美元）及利润率一览表 109
图 2009-2015年TOP TOWER.MOCVD设备产能 产量（台） 及增长率 110
表 中国MOCVD研究机构 研究项目及专利价格一览表 124
表 美国MOCVD研究机构 研究项目及专利价格一览表 125
表 韩国MOCVD研究机构 研究项目及专利价格一览表 125
表 台湾MOCVD研究机构 研究项目及专利价格一览表 126
表 日本MOCVD研究机构 研究项目及专利价格一览表 126
表 欧洲MOCVD研究机构 研究项目及专利价格一览表 126
表 机加工设备供应商名称 网站 型号 价格（美元/台） 127
表 加工中心供应商名称 网站 规格 价格（美元/台） 128
表 数控切割机设备供应商名称 网站 型号 价格（美元/套） 129
表 焊接设备供应商名称 网站 规格 价格（美元/套） 130
表 双面热压机供应商名称 网站 规格 价格（美元/台） 131
表 PPC预本压机供应商名称 网站 规格 价格（美元/台） 132
表 组装流水线供应商名称 网站 类型 价格（美元/套） 132
表 其他主要设备供应商名称 网站 型号 价格（美元/套） 133
表 不锈钢板 管 锭供应商名称 网站 规格 价格（美元/吨） 134
表 石墨板供应商名称 网站 规格 价格（美元/吨） 135
表 PLC控制系统供应商名称 网站 型号 价格（美元/套） 136
表 加热器供应商名称 网站 型号 价格（美元/套） 137
表 传感器供应商名称 网站 型号 价格（美元/件） 138
表 流量计供应商名称 网站 型号 价格（美元/件） 139
表 压力泵供应商名称 网站 型号 价格（美元/件） 140
表 粒子过滤器供应商名称 网站 型号 价格（美元/件） 141
表 自动控制阀门供应商名称 网站 型号 价格（美元/件） 142
表 其他主要原材料供应商名称 网站 型号 价格（美元/米 件） 143
表 MOCVD设备生产项目投产方案概述 145
表 MOCVD设备生产项目机遇及风险分析 146
表 MOCVD设备生产项目原料 设备 工艺选购 150
表 2011年中国各地开发区土地出让金价格（万美元）一览表 151
表 MOCVD设备固定建设成本分析（土木成本） 151
表 MOCVD设备生产设备名称 采购量及设备成本分析 152
表 MOCVD设备运行成本 产值投资回报率分析 153
表 MOCVD设备投资收益情况（25年运营支出及产值收益概况） 155
表 MOCVD设备建厂项目总结 156