2.1　2020-2022年全球电子特气发展现状
2.1.1　市场发展规模
2.1.2　市场份额分布
2.1.3　企业竞争格局
2.1.4　企业营收情况
2.1.5　产业链条布局
2.1.6　应用领域分布
2.1.7　产品技术分析
2.2　2020-2022年美国电子特气发展分析
2.2.1　市场相关政策
2.2.2　市场主体介绍
2.2.3　企业布局动态
2.2.4　市场发展困境
2.3　2020-2022年日本电子特气发展分析
2.3.1　市场发展现状
2.3.2　市场需求分析
2.3.3　市场主体介绍
2.3.4　企业营收情况
2.3.5　企业布局动态
2.3.6　出口管制施行
2.4　全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
2.4.1　设备制造+气体服务齐头并进
2.4.2　通过收购快速开拓国际市场
2.4.3　通过技术创新丰富产品结构

3.1　经济环境
3.1.1　宏观经济概况
3.1.2　工业运行情况
3.1.3　固定资产投资
3.1.4　宏观经济展望
3.2　政策环境
3.2.1　行业主管部门
3.2.2　行业相关政策
3.2.3　行业支持政策
3.2.4　行业标准汇总
3.2.5　细分品类标准
3.2.6　区域政策动态
3.3　行业环境
3.3.1　工业气体基本概述
3.3.2　工业气体发展特点
3.3.3　工业气体市场规模
3.3.4　工业气体区域竞争
3.3.5　工业气体竞争梯队
3.3.6　工业气体企业份额
3.3.7　工业气体产品布局
3.3.8　工业气体发展趋势

4.1　中国电子特气行业产业链分析
4.1.1　产业链条分析
4.1.2　上游供应情况
4.1.3　下游应用结构
4.1.4　产业链企业布局
4.2　2020-2022年中国电子特气市场发展状况
4.2.1　行业发展历程
4.2.2　市场发展地位
4.2.3　市场发展态势
4.2.4　市场发展规模
4.2.5　市场供应模式
4.2.6　波特五力模型
4.3　2020-2022年中国电子特气企业竞争情况
4.3.1　企业竞争优势
4.3.2　企业竞争格局
4.3.3　主要企业介绍
4.3.4　企业产品布局
4.3.5　企业营收情况
4.3.6　市场地位对比
4.4　中国电子特气行业技术发展状况分析
4.4.1　电子特气行业技术发展需求
4.4.2　电子特气行业技术发展意义
4.4.3　典型电子特气企业研发成果
4.4.4　高纯含氟电子气体国产化成功
4.4.5　高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
4.5　中国电子特气行业发展问题及建议
4.5.1　行业起步较晚
4.5.2　行业竞争加剧
4.5.3　国际贸易摩擦
4.5.4　技术存在短板
4.5.5　行业发展建议

5.1　清洗、蚀刻工艺特气
5.1.1　三氟化氮（NF3）
5.1.2　四氟化碳（CF4）
5.1.3　六氟化硫（SF6）
5.1.4　六氟乙烷（C2F6）
5.1.5　八氟丙烷（C3F8）
5.1.6　八氟环丁烷（C4F8）
5.2　氧化/沉积工艺特气
5.2.1　六氟化钨（WF6）
5.2.2　氧化亚氮（N2O）
5.2.3　氨气（NH3）
5.2.4　硅烷（SiH4）
5.2.5　锗烷（GeH4）
5.3　氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
5.3.1　磷烷（PH3）
5.3.2　砷烷（AsH3）
5.3.3　乙硼烷（B2H6）
5.4　其他电子特气
5.4.1　六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2　羰基硫（COS）
5.4.3　三氟化硼（BF3）
5.4.4　硒化氢（SeH2）

6.1　半导体行业
6.1.1　半导体行业发展综述
6.1.2　半导体材料国产化
6.1.3　电子特气制程介绍
6.1.4　电子特气应用情况
6.1.5　电子特气应用规模
6.1.6　电子特气应用需求
6.1.7　电子特气应用前景
6.2　LED行业
6.2.1　LED行业发展综述
6.2.2　电子特气应用情况
6.2.3　电子特气应用前景
6.3　LCD行业
6.3.1　LCD行业发展综述
6.3.2　电子特气制程介绍
6.3.3　电子特气应用现状
6.3.4　电子特气具体应用
6.3.5　电子特气应用前景
6.4　太阳能电池行业
6.4.1　太阳能电池发展概述
6.4.2　电子特气制程介绍
6.4.3　电子特气应用情况
6.4.4　电子特气应用规模

7.1　美国空气化工产品
7.1.1　企业发展概况
7.1.2　企业业务介绍
7.1.3　企业产品布局
7.1.4　企业技术创新
7.1.5　2019年企业经营状况分析
7.1.6　2020年企业经营状况分析
7.1.7　2021年企业经营状况分析
7.2　林德集团
7.2.1　企业发展历程
7.2.2　企业业务介绍
7.2.3　企业产品布局
7.2.4　企业技术创新
7.2.5　2019年企业经营状况分析
7.2.6　2020年企业经营状况分析
7.2.7　2021年企业经营状况分析
7.3　法国液空集团
7.3.1　企业发展历程
7.3.2　企业业务介绍
7.3.3　企业产品布局
7.3.4　工业网路组织
7.3.5　企业发展战略
7.3.6　2019年企业经营状况分析
7.3.7　2020年企业经营状况分析
7.3.8　2021年企业经营状况分析
7.4　日本酸素公司
7.4.1　企业发展概况
7.4.2　企业功能扩展
7.4.3　企业基础技术
7.4.4　企业销售情况
7.4.5　2019年企业经营状况分析
7.4.6　2020年企业经营状况分析
7.4.7　2021年企业经营状况分析
7.5　日本昭和电工株式会社
7.5.1　企业发展概况
7.5.2　企业业务介绍
7.5.3　企业产品布局
7.5.4　企业项目动态
7.5.5　2019年企业经营状况分析
7.5.6　2020年企业经营状况分析
7.5.7　2021年企业经营状况分析
7.6　其他企业
7.6.1　太阳日酸
7.6.2　关东电化
7.6.3　艾迪科

8.1　广东华特气体股份有限公司
8.1.1　企业发展概况
8.1.2　企业发展历程
8.1.3　企业经营现状
8.1.4　特气营收情况
8.1.5　企业业务模式
8.1.6　企业业务布局
8.1.7　企业技术发展
8.1.8　企业项目布局
8.2　苏州金宏气体股份有限公司
8.2.1　企业发展概况
8.2.2　企业发展历程
8.2.3　企业工艺介绍
8.2.4　企业经营现状
8.2.5　特气营收情况
8.2.6　企业产能规模
8.2.7　企业产品布局
8.2.8　企业技术发展
8.3　江苏雅克科技股份有限公司
8.3.1　企业发展概况
8.3.2　企业发展历程
8.3.3　企业经营现状
8.3.4　电子特气营收
8.3.5　企业产品布局
8.3.6　细分产品介绍
8.3.7　企业项目动态
8.4　江苏南大光电材料股份有限公司
8.4.1　企业发展概况
8.4.2　企业发展历程
8.4.3　企业经营现状
8.4.4　特气营收情况
8.4.5　特气布局分析
8.4.6　企业产品布局
8.4.7　企业研发投入
8.5　昊华化工科技集团股份有限公司
8.5.1　企业发展概况
8.5.2　企业发展历程
8.5.3　企业经营现状
8.5.4　特气营收情况
8.5.5　企业产能规模
8.5.6　企业产品布局
8.5.7　企业研发投入
8.6　湖南凯美特气体股份有限公司
8.6.1　企业发展概况
8.6.2　企业发展历程
8.6.3　企业竞争优势
8.6.4　企业经营现状
8.6.5　气体营收分布
8.6.6　产品销售情况
8.6.7　特气布局分析
8.6.8　企业产品布局
8.6.9　企业研发投入
8.6.10　企业项目动态
8.7　湖北和远气体股份有限公司
8.7.1　企业发展概况
8.7.2　企业经营现状
8.7.3　电子特气营收
8.7.4　电子特气供应
8.7.5　企业研发投入
8.7.6　企业项目动态
8.8　其他企业
8.8.1　杭氧股份
8.8.2　巨化股份
8.8.3　正帆科技
8.8.4　派瑞特气
8.8.5　博纯材料
8.8.6　绿菱公司
8.8.7　硅烷科技
8.8.8　同辉气体
8.8.9　太和气体

9.1　2020-2022年中国电子特气行业投融资状况
9.1.1　行业投资现状
9.1.2　企业融资动态
9.1.3　企业战略合作
9.1.4　项目投资布局
9.1.5　行业投资机遇
9.2　中国电子特气行业投资进入壁垒
9.2.1　技术壁垒
9.2.2　客户壁垒
9.2.3　服务壁垒
9.2.4　资金壁垒
9.2.5　资质壁垒
9.3　中国电子特气行业投资风险及策略
9.3.1　行业投资风险
9.3.2　行业投资策略
9.3.3　项目投资建议

10.1　雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目
10.1.1　项目基本情况
10.1.2　项目投资价值
10.1.3　项目投资优势
10.1.4　项目实施主体
10.1.5　项目建设周期
10.1.6　项目投资概算
10.1.7　项目经济效益
10.2　南大光电三氟化氮生产装置项目
10.2.1　项目基本情况
10.2.2　项目投资内容
10.2.3　项目投资价值
10.2.4　项目建设周期
10.2.5　项目投资概算
10.2.6　产能消化空间
10.2.7　项目经济效益
10.2.8　项目备案进展
10.3　正帆科技气体扩产项目
10.3.1　项目基本情况
10.3.2　项目投资可行性
10.3.3　项目建设主体
10.3.4　项目建设周期
10.3.5　项目投资概算
10.3.6　项目环保措施
10.4　金宏气体集成电路用高纯气体项目
10.4.1　项目基本情况
10.4.2　项目投资背景
10.4.3　项目建设方案
10.4.4　主要设备配置
10.4.5　项目物料及能源供应
10.4.6　项目环境影响及设施
10.4.7　项目组织方式和实施进展
10.4.8　项目投资概算及财务评价

11.1　中国电子特气行业未来发展趋势
11.1.1　行业发展机遇
11.1.2　行业发展趋势
11.1.3　国产替代趋势
11.2　2023-2028年中国电子特气行业预测分析
11.2.1　2023-2028年中国电子特气行业影响因素分析
11.2.2　2023-2028年中国电子特气市场规模预测

图表　不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表　三种分离方法比较
图表　化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表　光刻工艺中电子气体的使用流程
图表　刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表　刻蚀机中辉光放电原理
图表　离子注入工艺流程
图表　离子注入机之磁分析器结构简图
图表　离子注入机设备结构简图
图表　电子气体纯度要求
图表　气体纯化工艺流程图
图表　气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表　空气分离工艺流程图资
图表　气体充装工艺流程图
图表　气体混配工艺流程图
图表　气体检验工艺流程图
图表　气瓶处理工艺流程图
图表　全球电子气体市场规模
图表　2020全球电子气体细分市场格局
图表　2019年全球电子特气市场格局
图表　全球电子特种气体知名企业